電容式壓力傳感器具有以下優點：

靈敏度高：電容式壓力傳感器能夠檢測到微小的壓力變化，并將其轉化為顯著的電容變化，從而實現對微小壓力的精確測量，可感應 0.01μm 甚至更小的位移，分辨力高

溫度穩定性好：一般來說，電容式壓力傳感器的電容值與電極材料關系不大，有利于選擇溫度系數低的材料，且其本身發熱極小，對穩定性影響甚微，相比之下，電阻傳感器有銅損，易發熱產生零漂

動態響應好：電容式壓力傳感器的可動部分可以做得很小很薄，質量輕，固有頻率高，動態響應時間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動態測量。此外，其介質損耗小，可以用較高頻率供電，系統工作頻率高，可用于測量高速變化的參數

結構簡單：通常由兩個平行電極等簡單結構組成，易于制造和保證高精度，且可以做得非常小巧，以實現某些特殊的測量，還能工作在高溫、強輻射及強磁場等惡劣的環境中，可承受很大的溫度變化、高壓力、高沖擊和過載等

非接觸測量：可實現非接觸測量，如測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等，并且具有平均效應，能夠減小工件表面粗糙度等對測量的影響

壽命長：由于沒有機械磨損等問題，電容式壓力傳感器的使用壽命相對較長

不易受電磁干擾：相比一些基于電磁感應原理的傳感器，電容式壓力傳感器受電磁干擾的影響較小，工作更加穩定

同時，電容式壓力傳感器也存在一些缺點：

易受環境因素影響：電容值易受溫度、濕度等環境因素變化的影響，從而導致測量誤差，需要采取相應的補償措施來減小環境因素對測量結果的影響

輸出阻抗高，負載能力差：受電極板幾何尺寸的限制，電容式壓力傳感器的電容量通常較小，一般為幾十到幾百皮法（pF），這使得其輸出阻抗很高，可達數兆歐姆，輸出功率小，負載能力差，易受外界干擾影響而產生不穩定現象，嚴重時甚至無法工作

寄生電容影響大：傳感器的初始電容量很小，而連接傳感器和電子線路的引線電纜電容、電子線路的雜散電容以及電容極板與周圍導體構成的電容等寄生電容卻較大。寄生電容的存在不但降低了測量靈敏度，而且會引起非線性輸出，由于寄生電容是隨機變化的，因而會使傳感器處于不穩定的工作狀態，影響測量準確度

非線性輸出：電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關系是非線性關系，因此需要使用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償

不適用于某些特殊介質：對于一些特殊的介質，如具有腐蝕性或導電性的介質，可能會影響傳感器的性能甚至損壞傳感器，需要采取特殊的防護措施或選擇合適的材料來制作傳感器

審核編輯 黃宇