氬離子拋光技術(shù)又稱CP截面拋光技術(shù),是利用氬離子束對樣品進(jìn)行拋光,可以獲得表面平滑的樣品,而不會對樣品造成機(jī)械損害。去除損傷層,從而得到高質(zhì)量樣品,用于在SEM,光鏡或者掃描探針顯微鏡上進(jìn)行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。
同時(shí),CP截面拋光儀制樣廣泛,可用于于各種材料樣品(除了液態(tài))的制備,適應(yīng)大多數(shù)材料類型,對大面積、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳,有鋼鐵、地質(zhì)、油頁巖、鋰離子電池、光伏材料、陶瓷、金屬(氧化物,合金)、高分子,聚合物、薄膜、半導(dǎo)體、EBSD樣品、生物材料等包括平面拋光與截面拋光。
應(yīng)用范圍
1.鋰電池領(lǐng)域
在鋰電池領(lǐng)域,氬離子束拋光技術(shù)主要應(yīng)用于電極片的制備。鋰電池的性能和壽命與其電極材料的微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示正極片和負(fù)極片的微觀結(jié)構(gòu),為電池材料的研究和質(zhì)量控制提供重要支持。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
2.金屬與合金領(lǐng)域
氬離子束拋光技術(shù)在金屬和合金的樣品制備中也得到了廣泛應(yīng)用。金屬材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對其性能和應(yīng)用效果具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)金屬表面的高平整度和高清潔度處理,同時(shí)保留金屬的原始晶體結(jié)構(gòu)。例如,在鋼鐵材料的研究中,氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示鋼材的微觀組織結(jié)構(gòu),如晶粒尺寸、相分布等,從而為鋼材的性能優(yōu)化和質(zhì)量控制提供重要依據(jù)。
在合金材料的研究中,氬離子束拋光技術(shù)能夠揭示合金的微觀相結(jié)構(gòu)和元素分布,這對于理解合金的性能和開發(fā)新型合金材料具有重要意義。
3.半導(dǎo)體與微電子領(lǐng)域
氬離子束拋光技術(shù)在半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的應(yīng)用也極為重要。半導(dǎo)體材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對其電學(xué)性能和光學(xué)性能具有決定性影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體表面的高精度處理,同時(shí)避免引入任何化學(xué)污染或機(jī)械損傷。這種高質(zhì)量的表面處理效果為半導(dǎo)體材料的性能測試和器件制造提供了理想的樣品。
例如,在硅片的拋光中,氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的表面平整度,從而為后續(xù)的光刻和蝕刻工藝提供高質(zhì)量的表面。在半導(dǎo)體器件的制備中,氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)器件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高精度觀察,為器件的性能優(yōu)化和可靠性評估提供重要支持。
4.陶瓷與復(fù)合材料領(lǐng)域
氬離子束拋光技術(shù)在陶瓷和復(fù)合材料的樣品制備中也得到了廣泛應(yīng)用。陶瓷材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對其力學(xué)性能和熱學(xué)性能具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)陶瓷表面的高平整度和高清潔度處理,同時(shí)保留陶瓷的原始晶體結(jié)構(gòu)。這種高質(zhì)量的表面處理效果為陶瓷材料的性能測試和應(yīng)用開發(fā)提供了理想的樣品。例如,在氧化鋁陶瓷的研究中,氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示陶瓷的微觀結(jié)構(gòu),如晶粒尺寸、晶界分布等,從而為陶瓷材料的性能優(yōu)化和質(zhì)量控制提供重要依據(jù)。
5.生物材料與生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域
氬離子束拋光技術(shù)在生物材料和生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用也逐漸受到關(guān)注。生物材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對其生物相容性和生物活性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)生物材料表面的高精度處理,同時(shí)避免引入任何化學(xué)污染或機(jī)械損傷。這種高質(zhì)量的表面處理效果為生物材料的性能測試和應(yīng)用開發(fā)提供了理想的樣品。
在鋰電池電極片中的應(yīng)用效果
氬離子束拋光技術(shù)在鋰電池電極片的制備中表現(xiàn)出色,能夠提供清晰的微觀結(jié)構(gòu)圖像,助力電池材料的深入研究和質(zhì)量把控。在鋰電池的研究中,電極片的微觀結(jié)構(gòu)對其性能和壽命具有重要影響。金鑒實(shí)驗(yàn)室通過氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示正極片和負(fù)極片的微觀結(jié)構(gòu),為電池材料的研究和質(zhì)量控制提供重要支持。
1.正極片的應(yīng)用效果
經(jīng)過氬離子束拋光的鋰電池正極片,其微觀結(jié)構(gòu)清晰可見,展現(xiàn)出良好的均勻性和一致性。正極材料的微觀結(jié)構(gòu),如顆粒尺寸、孔隙率和晶體取向等,對其電化學(xué)性能和熱穩(wěn)定性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示這些微觀結(jié)構(gòu)特征,從而為研究人員提供準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。例如,通過觀察正極片的微觀結(jié)構(gòu),研究人員可以評估材料的結(jié)晶度和顆粒分布,進(jìn)而優(yōu)化正極材料的制備工藝,提高電池的性能和壽命。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
2.負(fù)極片的應(yīng)用效果
負(fù)極片的氬離子束拋光效果圖則揭示了材料的微觀結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié),為研究電池充放電過程中的物理化學(xué)變化提供了關(guān)鍵信息。負(fù)極材料的微觀結(jié)構(gòu),如顆粒尺寸、孔隙率和表面形貌等,對其電化學(xué)性能和循環(huán)穩(wěn)定性具有重要影響。


鋰電池負(fù)極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖
3.電池隔膜的應(yīng)用效果
電池隔膜的氬離子束拋光效果圖清晰地展示了隔膜材料的孔隙結(jié)構(gòu)和表面特性。隔膜的孔隙結(jié)構(gòu)和表面特性對其離子傳輸性能和機(jī)械穩(wěn)定性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示這些微觀結(jié)構(gòu)特征,從而為研究人員提供準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。例如,通過觀察隔膜的孔隙結(jié)構(gòu),研究人員可以評估隔膜的離子傳輸性能和機(jī)械穩(wěn)定性,進(jìn)而優(yōu)化隔膜材料的設(shè)計(jì)和制備工藝,提高電池的性能和壽命。

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果圖

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果
結(jié)論
氬離子拋光技術(shù)以其高效、無損的特點(diǎn),已成為鋰電池電極片SEM電鏡測試的優(yōu)選技術(shù)。
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