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解決方案 1+1>2!實現亞微米級對射測厚!

Phoskey ? 來源:jf_36290243 ? 作者:jf_36290243 ? 2025-03-18 16:02 ? 次閱讀
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一般情況下,單個激光位移傳感器就可以完成被測物體的厚度測量,但難以確保被測物體與平臺之間有無氣隙,是否影響測量精度。

在電子器件、半導體、能源存儲等精密制造領域,要求工件厚度的極致精準。

為應對高標準的厚度檢測,光子精密采用PDH系列激光位移傳感器進行對射測厚,為企業的高精度厚度檢測提供參考。

01 試驗原理

通過兩個PDH系列激光位移傳感器上下對稱布局,同步連續獲取量塊的厚度,結合高精度運動平臺實現量塊厚度的動態測量。

wKgZPGfZKHiAfcmcAABeQMdLAMQ297.jpg

測試樣品:2mm標定塊。

測試儀器:上下各安裝一臺PDH系列激光位移傳感器,量程50±10mm,重復精度0.035 μm,線性精度±0.02% of F.S.,采樣速度可達260KHz

運動平臺:帶動量塊進行上下移動,覆蓋PDH量程內的20個測量點。

02 測試數據

動態測試單點重復性,測量20次。

wKgZO2fZKHiAMBLKAACs9pUyDhQ322.jpg

03 方案優勢

1.有效消除誤差:對射測厚可以有效消除單個傳感器因氣隙、振動等因素引起的誤差。

2.測量精度高:PDH系列擁有超高的重復精度與線性精度,結合260KHz高頻監測,可更精準更快速地捕捉被測物體的微小位移變化,大幅提升厚度值的準確性與可靠性。

3.靈活高效:PDH系列采用新光學設計,光點對稱性與同步性優異,可實現上下精準對射。結合專用上位機軟件PDH-Navigator,能夠通過菜單選項便捷地進行配置,實時監控數據變化。

4.測量場景更廣:PDH系列對射測厚可實現動態厚度檢測,還可穩定檢測具有復雜曲面或形狀不規則的工件,適應更多種測量環境和對象。

審核編輯 黃宇

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