CDS（中央化學(xué)液供應(yīng)系統(tǒng)）與SDS（自動供液系統(tǒng)）在半導(dǎo)體、醫(yī)療等領(lǐng)域均有應(yīng)用，但兩者在功能定位、技術(shù)特點及應(yīng)用場景上存在顯著差異。以下是兩者的核心區(qū)別：

1. 功能定位與系統(tǒng)架構(gòu)

CDS（中央化學(xué)液供應(yīng)系統(tǒng)）

核心功能：為生產(chǎn)線提供24小時不間斷的化學(xué)液集中供應(yīng)，支持多種工藝的自動化配液、補液和加液。

系統(tǒng)架構(gòu)：通常采用中央供液模式，通過管道將化學(xué)液從儲存設(shè)備輸送至多個制程機臺，具備高度集成化和自動化的特點。

適用場景：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的濕法工藝（如光刻顯影、晶圓清洗、濕法刻蝕、化學(xué)機械拋光等），以及醫(yī)療領(lǐng)域的透析液集中供應(yīng)。

SDS（自動供液系統(tǒng)）

核心功能：以本地化供應(yīng)為主，專注于單體制程或特定工藝的化學(xué)液輸送，強調(diào)精準配比和靈活控制。

系統(tǒng)架構(gòu)：采用模塊化設(shè)計，通過重力、氣力或泵力驅(qū)動液體輸送，支持手動與自動控制模式切換，適配不同規(guī)模的生產(chǎn)線。

適用場景：常見于半導(dǎo)體前端工藝（如研磨液輸送、清洗液配比）或需要靈活調(diào)整的本地化供液場景。

2. 技術(shù)特點對比

3. 關(guān)鍵差異總結(jié)

供應(yīng)模式：

CDS是中央集中式系統(tǒng)，適合大型產(chǎn)線統(tǒng)一管理；

SDS是本地化分布式系統(tǒng)，更靈活且貼近機臺需求。

配液精度與復(fù)雜度：

CDS支持多工藝、多參數(shù)（溫度、濃度、流速）的精確控制，適合復(fù)雜制程；

SDS側(cè)重單工藝的高效配比，強調(diào)操作簡便性和快速響應(yīng)。

應(yīng)用場景：

CDS多用于半導(dǎo)體濕法工藝（如刻蝕、清洗）或醫(yī)療透析液供應(yīng)；

SDS常見于半導(dǎo)體前端研磨/清洗環(huán)節(jié)，或小批量、高靈活性的生產(chǎn)環(huán)境56。

審核編輯 黃宇