據(jù)業(yè)內(nèi)最新消息,全球最大的芯片機器制造商、荷蘭的AMSL證實,中國向荷蘭訂購一臺最新型的使用EUV(極紫外線)技術(shù)的芯片制造機器光刻機,訂貨單位是中芯國際(SMIC)。這也幾乎花掉了中芯國際2017年的所有利潤,該公司去年的凈利潤為1.264億美元。
不過在大家了解到 EUV 設備有多重要之后,就知道這筆錢花的有多值了。
EUV 作為現(xiàn)在最先進的光刻機,是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設備,因為它發(fā)射的光線波長僅為現(xiàn)有設備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細的半導體電路,所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導體芯片進入 7nm 時代開始(現(xiàn)在我們處于 10nm 時代),EUV 光刻機是絕對的戰(zhàn)略性設備,沒有它就會寸步難行。
在半導體工藝進入10nm節(jié)點之后,制造難度越來越大,傳統(tǒng)的193nm紫外光刻機也難以為繼,EUV極紫外光刻機成為突破制程工藝的關鍵。
光刻機曾經(jīng)也是日本佳能、尼康公司的重要產(chǎn)品,不過現(xiàn)在的高端光刻機已經(jīng)被ASML壟斷,在EUV光刻機上更是獨一份。日經(jīng)新聞亞洲版今天報道稱,中芯國際(SMIC)已經(jīng)向ASML公司訂購了一臺EUV光刻機,單價1.2億美元,預計在2019年初交付。
此前英特爾、三星、臺積電以及GF都向ASML下了EUV訂單,其中臺積電訂購了大約10臺,三星訂購了大約6臺,英特爾今年會引入3臺EUV光刻機,GF也下了訂單,不過日經(jīng)新聞沒提到具體數(shù)量。
中國公司能買先進的光刻機?很多人聽到這個消息可能不太相信,因為網(wǎng)上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協(xié)定的關系一直被禁止采購先進光刻機。對于這個問題,網(wǎng)上有很多爭議也有很多解答了,日經(jīng)新聞報道的中芯國際采購EUV光刻機其實也不是新聞了。
去年臺媒電子時報采訪過中ASML中國區(qū)總經(jīng)理金泳璇,后者辟謠稱ASML光刻機并沒有禁運問題,該公司對所有客戶都一視同仁,不存在有錢買不到的問題。他還透露了已經(jīng)有中國客戶洽談購買EUV光刻機,如果訂單確認的話,那么最快在2019年就會有EUV光刻機進入中國晶圓廠,ASML對此表示樂觀。
兩邊對比的話,這家中國公司就是中芯國際,雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產(chǎn),不過國內(nèi)有需求EUV光刻機的幾乎只有他們了,2017年中芯國際表示他們已經(jīng)在預研7nm工藝了,訂購一臺EUV光刻機做研究也是很正常的。
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原文標題:單價1.2億刀!中芯國際拿下EUV光刻機!
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