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• 發布了文章 2025-05-12 22:26

  瑞樂半導體——On Wafer WLS-EH無線晶圓測溫系統半導體制造工藝溫度監控的革新方案

  

  在半導體制造中，工藝溫度的精確控制直接關系到晶圓加工的良率與器件性能。傳統的測溫技術（如有線測溫）易受環境干擾，難以在等離子刻蝕環境中實現實時監測。OnWaferWLS無線晶圓測溫系統通過自主研發的傳感器集成技術，將微型溫度傳感器直接嵌入晶圓載體（wafer），實現了對制程溫度的原位、實時、全流程監控。該系統的核心突破在于DUALSHIELD技術，解決了在干

  半導體制造 測溫儀 測溫系統

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• 發布了文章 2025-05-12 22:23

  瑞樂半導體——TC Wafer晶圓測溫系統持久防脫專利解決測溫點脫落的難題

  

  TCWafer晶圓測溫系統是一種專為半導體制造工藝設計的溫度測量設備，通過利用自主研發的核心技術將高精度耐高溫的熱電偶傳感器嵌入晶圓表面，實現對晶圓特定位置及整體溫度分布的實時監測，記錄晶圓在制程過程中的溫度變化數據，為半導體制造過程提供一種高效可靠的方式來監測和優化關鍵的工藝參數。【核心技術】防脫落專利技術：TCWafer晶圓測溫系統在高溫、真空或強振動環

  晶圓 測溫儀 測溫系統

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• 發布了文章 2025-04-24 14:57

  瑞樂半導體——AVS 無線校準測量晶圓系統讓每一片晶圓都安全抵達終點

  

  AVS 無線校準測量晶圓系統就像給晶圓運輸過程裝上了"全天候監護儀"，推動先進邏輯芯片制造、存儲器生產及化合物半導體加工等關鍵制程的智能化質量管控，既保障價值百萬的晶圓安全，又能讓價值數千萬的設備發揮最大效能，實現降本增效。

  半導體 無線 晶圓

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• 發布了文章 2025-04-22 11:34

  瑞樂半導體——On Wafer WLS-WET 濕法無線晶圓測溫系統是半導體先進制程監控領域的重要創新成果

  

  On Wafer WLS-WET無線晶圓測溫系統是半導體先進制程監控領域的重要創新成果。該系統通過自主研發的核心技術，將溫度傳感器嵌入晶圓集成，實現了晶圓本體與傳感單元的無縫融合。傳感器采用IC傳感器，具備±0.1℃的測量精度和10ms級快速響應特性，可實時捕捉濕法工藝中瞬態溫度場分布。

  Wafer wafer測試 半導體 晶圓

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