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現(xiàn)代集成電路芯片14nm節(jié)點FinFET的制造工藝流程詳細(xì)資料說明

2019-04-10 | docx | 2.95 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  14nm節(jié)點FinFET工藝流程。(后柵工藝BEOL+FEOL)

  流程概述:晶圓材料-隔離—淀積多晶硅—芯軸—鰭硬掩膜(“側(cè)墻”)—刻蝕形成鰭—雙阱形成—制作臨時輔助柵—補(bǔ)償隔離—LDD注入—側(cè)墻主隔離—漏源極形成(應(yīng)變硅技術(shù))—金屬硅化物—器件與金屬間介質(zhì)層ILD—置換高k金屬柵—鎢栓—第一層金屬間介質(zhì)(超低K介質(zhì))IMD-1—第一層銅布線—第二層金屬間介質(zhì)(超低K介質(zhì))IMD-2—第二層銅布線。..。..多層布線最上層鋁布線制作壓焊窗口—最上層介質(zhì)鈍化層(光刻壓焊/測試焊盤)—測試.

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