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標簽 > 微機電系統(tǒng)

微機電系統(tǒng)

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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統(tǒng)。

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