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標(biāo)簽 > 微機(jī)電系統(tǒng)
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí),是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。
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MEMS微機(jī)電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng),主要由傳感順、作動(dòng)器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 2945 0
Evonetix與ADI公司合作開發(fā)基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的硅芯片
EVONETIX LTD(“Evonetix”)——從事可擴(kuò)展、高保真度和快速基因合成桌面平臺(tái)開發(fā)的合成生物公司,日前宣布與全球領(lǐng)先的高性能模擬技術(shù)公司...
2020-09-27 標(biāo)簽:adi微機(jī)電系統(tǒng)硅芯片 2825 0
Mems傳感器的分類簡(jiǎn)介 MEMS傳感器介紹:MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)微機(jī)電系統(tǒng)。 可批量制作的將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和...
2020-06-11 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng)電子機(jī)械 2806 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加工及技術(shù)基礎(chǔ)
微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù),選擇條件是系統(tǒng)的應(yīng)用、市場(chǎng)等等。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 2742 0
40年來最具革命性意義的可燃?xì)怏w檢測(cè)技術(shù)誕生
利用40多年來MEMS技術(shù)的最新進(jìn)展,MPS傳感器改變了企業(yè)監(jiān)控環(huán)境中可燃?xì)怏w不安全水平的方式。與傳統(tǒng)的催化珠式和非分散紅外(non-dispersiv...
2020-07-01 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)可穿戴設(shè)備 2681 0
晶圓鍵合設(shè)備:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的新“風(fēng)口”
晶圓鍵合是一種將兩片或多片半導(dǎo)體晶片通過特定的工藝條件,使其緊密結(jié)合并形成一個(gè)整體的技術(shù)。這種技術(shù)在微電子、光電子以及MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等領(lǐng)域有著廣...
2024-02-21 標(biāo)簽:晶圓半導(dǎo)體封裝微機(jī)電系統(tǒng) 2677 0
雖然大部分人對(duì)于MEMS(Microelectromechanical systems, 微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實(shí)MEMS在...
2020-04-10 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2524 0
我們來探究一下可以提高基于MEMS的OXC系統(tǒng)的連接可靠性的技術(shù)和工程設(shè)計(jì)方法。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是一種能夠?qū)崿F(xiàn)大的規(guī)模效益、優(yōu)越的旋光性能以及降低...
2011-12-28 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng)OXC 2479 0
賽微電子發(fā)布2021年第一季度業(yè)績(jī)預(yù)告
賽微電子主營(yíng)業(yè)務(wù) MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))工藝開發(fā)與晶圓制造具備全球競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),擁有業(yè)內(nèi)頂級(jí)專家與工程師團(tuán)隊(duì)以及持續(xù)擴(kuò)張的8英寸成熟產(chǎn)能,較好地把握了下游生...
2021-04-25 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)賽微電子 2378 0
2020年“創(chuàng)客中國”智能傳感器中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽在河南成功舉辦
本次大賽由工業(yè)和信息化部網(wǎng)絡(luò)安全產(chǎn)業(yè)發(fā)展中心(工業(yè)和信息化部信息中心)、新鄉(xiāng)市人民政府主辦,紅旗區(qū)人民政府、市工業(yè)和信息化局、新鄉(xiāng)領(lǐng)軍產(chǎn)業(yè)園管理服務(wù)有限...
2020-09-13 標(biāo)簽:傳感器智能傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 2369 0
IEEE MEMS 2025 中國大陸地區(qū)論文錄用情況:北京大學(xué)/中科院微系統(tǒng)所/上海交大排名前三
IEEE MEMS會(huì)議的全稱為IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Sys...
2024-12-23 標(biāo)簽:IEEEmems微機(jī)電系統(tǒng) 2362 0
本文確定了聲波干擾導(dǎo)致放大器雙邊非對(duì)稱截止失效的理論輸出公式,線性掃頻聲波和掃幅聲波干擾實(shí)驗(yàn)和仿真結(jié)果具有一致性。進(jìn)一步提出軟件迭代算法補(bǔ)償放大器失效,...
2020-08-02 標(biāo)簽:傳感器放大器微機(jī)電系統(tǒng) 2355 0
ST在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品上的應(yīng)用
相信每個(gè)人或多或少都聽過報(bào)章雜志提到微機(jī)電系統(tǒng)(以下簡(jiǎn)稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System),而意法半導(dǎo)體...
2011-01-27 標(biāo)簽:MEMSST微機(jī)電系統(tǒng) 2349 0
MEMS傳感器的六類簡(jiǎn)介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個(gè)類型及工作原理介紹,MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研...
2020-04-16 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2316 0
利用超臨界二氧化碳對(duì)MEMS進(jìn)行刻蝕、沖洗和干燥研究
引言 利用現(xiàn)有的超臨界二氧化碳進(jìn)行蝕刻和干燥的工藝由兩階段工藝組成:在高壓干燥器外部利用溶劑對(duì)晶片進(jìn)行蝕刻,然后移動(dòng)到高壓干燥器,利用超臨界二氧化碳進(jìn)行...
2022-06-02 標(biāo)簽:微機(jī)電系統(tǒng)二氧化碳 2219 0
MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優(yōu)點(diǎn),非常有利于MEMS器件在電信和消費(fèi)電子等行業(yè)中的應(yīng)用。近年來,MEMS技術(shù)在汽車行業(yè)尤其是包括安全...
2022-09-07 標(biāo)簽:智能手機(jī)MEMS傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 2212 0
歐勝微電子發(fā)布高性能頂部和底部端口硅模擬微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)WM7121和WM7132
歐勝微電子有限公司日前發(fā)布其首批高性能頂部和底部端口硅模擬微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)WM7121和WM7132,它們帶有頻率響應(yīng)匹配功能,被設(shè)計(jì)用于為...
2012-10-22 標(biāo)簽:歐勝微電子微機(jī)電系統(tǒng)MEMS麥克風(fēng) 2026 0
如何使用加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)傾斜角度計(jì)算
不論是在家中、車上或工作場(chǎng)所,微機(jī)電(MEMS)應(yīng)用已悄悄深入消費(fèi)者生活。盡管不常受到注意,MEMS技術(shù)在過去20年間經(jīng)歷了劇烈的改變。隨著物聯(lián)網(wǎng)(Io...
2020-04-16 標(biāo)簽:加速度計(jì)微機(jī)電系統(tǒng)傾斜儀 1957 0
敏芯股份推出一款醫(yī)用過程控制氣體質(zhì)量流量傳感器模組MF1250
隨著醫(yī)療領(lǐng)域發(fā)展以及流行性疾病的防治,多種醫(yī)療設(shè)備如呼吸機(jī)、制氧機(jī)、霧化器、麻醉機(jī)等走進(jìn)人們的視野。
2024-03-13 標(biāo)簽:流量傳感器氣體傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 1862 0
首次提出了一種基于微懸臂梁的電流天平的光子力(PF)測(cè)量MEMS(pfMEMS)裝置。
2023-02-01 標(biāo)簽:mems電磁波微機(jī)電系統(tǒng) 1859 0
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