1光刻機(jī)

最近身邊的朋友們對(duì)于光刻機(jī)的談?wù)摕峄鸪欤鞘裁词枪饪虣C(jī)？它又用在什么地方有什么作用呢？一起來(lái)看看下邊的闡述！

經(jīng)常聽(tīng)到別人說(shuō)7納米光刻機(jī)、5納米光刻機(jī)，但其實(shí)嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō)并不存在7納米光刻機(jī)，5納米光刻機(jī)，我為什么會(huì)這樣說(shuō)呢？

首先我們要搞清楚什么是光刻機(jī)，光刻技術(shù)就是利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩，對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上的圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。

2光刻

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)造出來(lái)，類(lèi)似于投影儀，不過(guò)光刻投的不是照片，而是電路圖和其他電子元，光刻質(zhì)量直接決定了芯片是否可用，在這里最核心的就是光源了。一切光刻機(jī)的核心零件都是圍繞光源來(lái)發(fā)展的，所以根據(jù)光源的改進(jìn)，光刻機(jī)一共可以分為五代，分別是最早的336納米光刻機(jī)、第二代是365納米波長(zhǎng)的光刻機(jī)、第三代是248納米的、第四代是193納米的、第五代則是13.5納米波長(zhǎng)的EUV光刻機(jī)。

3雙工作臺(tái)

什么是雙工作臺(tái)呢？一個(gè)工作臺(tái)進(jìn)行曝光晶圓片，同時(shí)在另外一個(gè)工作臺(tái)進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)工作。兩個(gè)工作臺(tái)相互獨(dú)立，同時(shí)運(yùn)行，生產(chǎn)效率可以提高大約35%，精度提高10%以上。

目前，中國(guó)已經(jīng)能夠量產(chǎn)第四代掃描投影式光刻機(jī)，如果使用套刻精度在1.9納米左右的工作臺(tái)，在多重曝光下能夠?qū)崿F(xiàn)11納米制程工藝的芯片生產(chǎn)；如果改用套刻精度更優(yōu)的1.7納米國(guó)產(chǎn)華卓精科工作臺(tái)在多重曝光下，更是能夠?qū)崿F(xiàn)7納米制程工藝的芯片生產(chǎn)，所以準(zhǔn)確來(lái)說(shuō)，7納米光刻機(jī)、5納米光刻機(jī)這樣的說(shuō)法是不準(zhǔn)確的，正確來(lái)說(shuō)應(yīng)該是7納米工藝、5納米工藝，所以不要覺(jué)得90納米到7納米之間的路程非常漫長(zhǎng)，光源的遞進(jìn)所帶來(lái)的變革會(huì)是革命性的，中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的主要問(wèn)題，并不是因?yàn)楣饪虣C(jī)，而是在于沒(méi)有形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈，這需要許多的中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)多方面的突破發(fā)展。

前進(jìn)的路很難很漫長(zhǎng)，唯有堅(jiān)持，才能創(chuàng)造歷史。
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