霍爾效應測試系統用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要參數，而這些參數是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的，因此霍爾效應測試系統是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性必*的工具。 實驗結果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等。

低溫型霍爾效應測試系統由電磁鐵、真空泵、低溫真空腔、高斯計、恒流源、電磁鐵電流源、控溫儀和計算機及軟件組成。其中，電磁鐵電流源給電磁鐵提供電流，產生磁場；高斯計測量線圈產生的均勻磁場值；恒流源一方面給樣品提供電流，用于霍爾效應測試，一方面可以測量樣品電壓；被測樣品置于低溫真空腔中，由低溫膠固定，并作為四個測試點；低溫真空腔引出4根導線，兩個連接控溫儀進行溫度的測量及控制，另1根是低溫探頭引線連接到高斯計上，還有1根是霍爾樣片連接線接到恒流源上；計算機連接高斯計、控溫儀、恒流源和電磁鐵電流源，通過軟件實現控制通過被測樣品的電流和磁場值，并獲取測得的電壓值。

審核編輯 黃宇