經(jīng)過 FixInst 材料研發(fā)團(tuán)隊(duì)的不懈努力，項(xiàng)目《基于晶振微天平原理的超低濕度測量技術(shù)及應(yīng)用》研發(fā)落地成功！

在《2022年度民營科技發(fā)展貢獻(xiàn)獎(jiǎng)》評(píng)選中，成功榮獲了由中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部、國家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)工作辦公室批準(zhǔn)設(shè)立、中國民營科技促進(jìn)會(huì)頒發(fā)的“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)優(yōu)秀獎(jiǎng)”！

項(xiàng)目介紹

FIXINST-Q QCM雙QCM濕度敏感層的多孔結(jié)構(gòu)

應(yīng)用方向：

氣體純度品質(zhì)其中一個(gè)核心參數(shù)的檢測。例如電子特氣 (>5N) 幾乎貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程工藝包括沉積、光刻、刻蝕、擴(kuò)散、退火等關(guān)鍵工序。其雜質(zhì)含量直接影響晶圓廠的技術(shù)指標(biāo)和良率

項(xiàng)目優(yōu)勢：

超低露點(diǎn)（-120 ℃td）濕敏材料的成功研發(fā)，可檢測超高純度 (>6N) 電子特氣的雜質(zhì)含量；雙QCM傳感器的專利方案，可實(shí)時(shí)在線進(jìn)行污染補(bǔ)償，大大改善了QCM怕污染的弱點(diǎn)

目前產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用產(chǎn)品：

F138x 系列 QCM露點(diǎn)及壓力多參數(shù)變送器F141x 系列 雙QCM標(biāo)準(zhǔn)型露點(diǎn)變送器

審核編輯：劉清