分選機(jī)主要用于集成電路設(shè)計(jì)和封裝測試領(lǐng)域，基本都與測試機(jī)搭配使用，其中前端設(shè)計(jì)領(lǐng)域中分選機(jī)是針對封裝的芯片級檢測，后端是在芯片封裝完成后，通過測試機(jī)和分選機(jī)的配合使用芯片成品測試(Final Test)：對封裝完成后的每顆芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試，分出芯片好壞或分等級。國內(nèi)分選機(jī)的重任工作還是用于芯片成品測試，測試平臺主要包括測試機(jī)、分選機(jī)、測試座等設(shè)備和材料，在芯片成片環(huán)節(jié)主要流程和晶圓測試類似：

傳送：分選機(jī)將被測芯片逐個(gè)自動(dòng)傳送至測試工位；

連接：被測芯片的引腳通過測試工位上的基座、專用連接線與測試機(jī)的功能；

判斷：測試機(jī)對芯片施加輸入信號并采集輸出信號，判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計(jì)規(guī)范要求；

輸出：測試結(jié)果通過通信接口傳送給分選機(jī)，分選機(jī)據(jù)此對被測芯片進(jìn)行標(biāo)記、分選、收料或編帶。

分選機(jī)類型較多，根據(jù)用戶需求產(chǎn)品形態(tài)存在較大差距，按照形態(tài)和適用情形分為重力式、平移式、轉(zhuǎn)塔式、測編一體機(jī)。重力式結(jié)構(gòu)簡單，投資小；平移式適用范圍廣、測試時(shí)間較長或先進(jìn)封裝情況下優(yōu)勢明顯；轉(zhuǎn)塔式適合體積小、重量小、測試時(shí)間短的芯片。測編一體機(jī)將測試、視覺量測、激光打標(biāo)、編帶等功能結(jié)合為一體，同樣也可以分為重力式、平移式、轉(zhuǎn)塔式等類型，由于集成功能較多，因此結(jié)構(gòu)復(fù)雜，技術(shù)壁壘較高。

分選機(jī)之所以能把晶圓芯片進(jìn)行移動(dòng)，主要依靠擺臂的吸附作用，通過對氣流的控制來吸附芯片進(jìn)行移動(dòng)，氣流控制主要用到流量控制器或者流量傳感器去控制或者檢測氣體流量大小，實(shí)現(xiàn)吸附壓力的大小。

工采傳感推薦來自矽翔的流量傳感器，可以很好的適用在分選機(jī)設(shè)備上，具體參數(shù)如下：

MFC2000系列質(zhì)量流量控制器采用專有的MEMS Thermal-D操作"“熱量傳感技術(shù)與智能控制電子設(shè)備消除了一些擴(kuò)散率相似的氣體的氣體敏感性，并允許在編程后進(jìn)行氣體識別?？捎脛?dòng)態(tài)范圍為100:1的過程控制，其控制范圍為0.1至0.8MPa(15至120 PSL)的壓力和0至50℃的補(bǔ)償溫度。量程在50mL/min到200L/min不同范圍可選，帶有數(shù)字RS485 Modbus通信和模擬輸出。

該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)便于更換機(jī)械連接器，標(biāo)準(zhǔn)連接器可選雙卡套、VCR或UNF，其他定制連接器可根據(jù)要求提供。

FS4300系列氣體質(zhì)量流量傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，不需要旁路設(shè)置。該傳感器工作壓力提高到0.8MPa，測量范圍涵蓋0~5SLPM到0~50SLPM，可用于醫(yī)療設(shè)備中的麻醉機(jī)、內(nèi)窺鏡等;工業(yè)應(yīng)用中的焊接機(jī)器、激光設(shè)備、半導(dǎo)體測試設(shè)備、氣體混合控制等; 環(huán)境監(jiān)測中的大氣采樣器等。

審核編輯 黃宇