在高度精密的半導(dǎo)體制造王國中，電子氣體如同流淌的“芯片血液”，支撐著光刻、刻蝕、沉積等關(guān)鍵制程。然而，這些不可或缺的“血液”往往具有易燃易爆、劇毒或強(qiáng)腐蝕的特性。近年來，全球半導(dǎo)體行業(yè)因微小氣體泄漏引發(fā)的爆燃、設(shè)備損毀乃至人員傷亡事故屢見不鮮，每一次都可能伴隨著巨大的經(jīng)濟(jì)損失。安全生產(chǎn)已成為懸在行業(yè)頭頂?shù)倪_(dá)摩克利斯之劍。

行業(yè)痛點正是技術(shù)破局的起點。隨著《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》（GB50646-2020）的實施，在氣瓶柜、閥門箱排風(fēng)口、廢氣處理裝置等關(guān)鍵風(fēng)險點部署特種氣體探測裝置，已上升為國家強(qiáng)制標(biāo)準(zhǔn)要求。

作為國內(nèi)氣體傳感器與安全儀表領(lǐng)軍企業(yè)，漢威科技憑借深厚積累，推出了專為半導(dǎo)體嚴(yán)苛環(huán)境打造的氣體檢測產(chǎn)品——GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀。

據(jù)悉，GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀的核心價值在于其強(qiáng)大的適應(yīng)性與可靠性。面對半導(dǎo)體工廠中使用的上百種性質(zhì)迥異、危險性極高的氣體（如極易燃的硅烷、劇毒的砷化氫、強(qiáng)腐蝕性的氯氣等），它能夠靈活集成電化學(xué)、催化燃燒、光學(xué)（PID）等多種原理的傳感器模組，實現(xiàn)ppm級高精度檢測，確保即使是微小的泄漏也能被及時發(fā)現(xiàn)。這種廣泛的覆蓋能力，使其成為應(yīng)對復(fù)雜氣體環(huán)境的“安全哨兵”。

針對半導(dǎo)體制造環(huán)境空間復(fù)雜、設(shè)備密集的特點，GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀創(chuàng)新性地采用了長達(dá)30米的進(jìn)氣管設(shè)計，突破了物理空間的限制，能夠?qū)h(yuǎn)端或難以直接布設(shè)傳感器的關(guān)鍵風(fēng)險區(qū)域（如氣瓶柜內(nèi)部、排風(fēng)管道末端）進(jìn)行超遠(yuǎn)距離采樣監(jiān)測，有效消除了監(jiān)測死角，編織了一張更嚴(yán)密的安全防護(hù)網(wǎng)。

在確保高性能的同時，GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀也充分考慮了實際運維的效率與便捷性。其傳感器采用模塊化設(shè)計，支持即插即用，大大簡化了日常維護(hù)和故障更換流程，可以顯著減少因設(shè)備維護(hù)導(dǎo)致的產(chǎn)線停機(jī)時間，保障半導(dǎo)體制造連續(xù)穩(wěn)定運行。清晰直觀的點陣式LCD大屏，符合國內(nèi)用戶的操作習(xí)慣，能夠?qū)崟r、醒目地顯示氣體名稱、精確濃度及報警狀態(tài)，為現(xiàn)場人員提供即時、準(zhǔn)確的決策依據(jù)，將復(fù)雜的安全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可快速響應(yīng)的行動指令。

據(jù)工作人員介紹，漢威科技的GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀已在國內(nèi)多家先進(jìn)半導(dǎo)體制造工廠成功部署。該設(shè)備在提升特種氣體泄漏監(jiān)測效率、保障超凈車間環(huán)境穩(wěn)定、預(yù)防非計劃停機(jī)方面貢獻(xiàn)顯著，其穩(wěn)定性和精準(zhǔn)度得到了相關(guān)半導(dǎo)體制造企業(yè)運維團(tuán)隊的廣泛認(rèn)可。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)乎國家的科技競爭力與戰(zhàn)略安全，其高質(zhì)量發(fā)展離不開每一個環(huán)節(jié)的堅實保障。電子氣體安全管理雖處幕后，卻是支撐萬億產(chǎn)值安全運行的基石。

在傳感器技術(shù)日益成為工業(yè)智能化重要一環(huán)的今天，漢威科技等國內(nèi)企業(yè)正通過自主創(chuàng)新不斷提升高端監(jiān)測裝備能力，動態(tài)滿足半導(dǎo)體制造對安全生產(chǎn)的迫切需求，持續(xù)推動安全監(jiān)測設(shè)備的國產(chǎn)化進(jìn)程與標(biāo)準(zhǔn)提升。當(dāng)安全生產(chǎn)與技術(shù)創(chuàng)新形成合力，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展之路必將行穩(wěn)致遠(yuǎn)。這道由先進(jìn)傳感器編織的隱形防線，正無聲地守護(hù)著中國“芯”制造的每一步跨越。

審核編輯 黃宇