硅與其他半導(dǎo)體材料在集成電路應(yīng)用中的比較可從以下維度展開(kāi)分析:
一、基礎(chǔ)特性對(duì)比
材料 | 帶隙(eV) | 電子遷移率(cm2/(V·s)) | 熱導(dǎo)率(W/(m·K)) | 擊穿電場(chǎng)(MV/cm) |
---|---|---|---|---|
?硅(Si)? | 1.12 | 1500 | 150 | 0.3 |
鍺(Ge) | 0.67 | 3900 | 60 | 0.1 |
砷化鎵(GaAs) | 1.42 | 8500 | 55 | 0.4 |
碳化硅(SiC) | 3.26 | 900 | 490 | 3.0 |
氮化鎵(GaN) | 3.4 | 2000 | 130 | 3.3 |
二、核心優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域
?硅材料?
?主流邏輯芯片?:全球95%的集成電路采用硅基制造,因其成本低(12英寸晶圓成本僅為砷化鎵的1/10)、工藝成熟(支持3nm制程)14
?集成度優(yōu)勢(shì)?:硅晶圓直徑可達(dá)300mm,單晶缺陷率低于0.1/cm2,適合超大規(guī)模集成814
?氧化層特性?:自然生成的SiO?絕緣層(介電常數(shù)3.9)是MOSFET器件的理想介質(zhì)28
?化合物半導(dǎo)體?
?高頻應(yīng)用?:砷化鎵電子遷移率是硅的5.7倍,適用于5G毫米波(>30GHz)器件49
?功率器件?:碳化硅擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)硅的10倍,可使電動(dòng)汽車(chē)逆變器損耗降低70%112
?光電轉(zhuǎn)換?:磷化銦(InP)在光通信波段(1310/1550nm)量子效率超90%4
三、關(guān)鍵性能短板
?硅的局限性?
禁帶寬度窄導(dǎo)致高溫漏電流大(>150℃性能驟降)911
高頻特性差(截止頻率<100GHz),不適合太赫茲應(yīng)用411
?替代材料挑戰(zhàn)?
?成本問(wèn)題?:6英寸碳化硅晶圓價(jià)格是硅晶圓的20倍12
?晶圓尺寸?:氮化鎵量產(chǎn)晶圓最大直徑僅8英寸,限制產(chǎn)能提升12
?工藝兼容性?:砷化鎵器件需特殊生產(chǎn)線,與硅基產(chǎn)線不通用4
四、技術(shù)演進(jìn)趨勢(shì)
?混合集成?:硅基CMOS與氮化鎵射頻器件3D堆疊(如蘋(píng)果5G射頻模組)12
?異質(zhì)外延?:在硅襯底上生長(zhǎng)GaN薄膜以降低成本(已實(shí)現(xiàn)200mm工藝)12
?量子計(jì)算?:硅-28同位素自旋量子比特相干時(shí)間突破1秒11
當(dāng)前硅仍主導(dǎo)邏輯芯片市場(chǎng),而第三代半導(dǎo)體在功率/射頻領(lǐng)域加速滲透,形成互補(bǔ)共存格局48。
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